主页（http://www.cnwulian.net）：深技大半导体微纳中心落成，填补深圳光电芯片空白
2025年12月25日，深圳技术大学半导体微纳加工中心与测试平台正式宣告落成。这一平台的启用，标志着深圳在化合物半导体光电子领域拥有了首个集研发、中试与公共服务于一体的核心平台，有效填补了深圳市在“光载信息”与“智能传感”关键半导体芯片上游制造环节的空白，为粤港澳大湾区半导体产业，特别是光电芯片领域的创新与升级注入了强劲动能。
据悉，该中心是国内高校体系中独立建设、规模最大且工艺链条最完整的化合物半导体光电芯片公共服务平台之一。平台总建筑面积达2600平方米，其中高标准的千级、百级及万级洁净区面积超过2100平方米，为芯片制造的精密工艺提供了可靠环境保障。中心配置了超过120台套先进的教学与研发工艺设备，构建起覆盖光刻、刻蚀、薄膜沉积、切磨抛及测试表征等全流程的工艺体系。尤为重要的是，作为深圳市首个同时支撑化合物光电芯片与MEMS（微机电系统）传感芯片上游制造的公共平台，它能够为高校、科研院所及中小企业提供从芯片设计、加工制造到封装测试的一站式技术解决方案，显著降低了研发门槛和周期。
该中心的建立，是深圳强化半导体产业基础能力、补强产业链关键环节的战略举措之一。化合物半导体是光通信、激光雷达、新型显示、智能传感等前沿领域的核心材料，其相关芯片技术是未来信息产业竞争的制高点。此前，深圳在芯片设计、封装测试和应用方面实力雄厚，但在化合物半导体芯片的前沿工艺研发与中试环节存在短板。深技大微纳加工中心的落成，恰好弥补了这一缺失，致力于加快破解产业关键核心技术，推动相关研究成果实现从实验室到生产线的工程化突破与产业化应用，从而为深圳市半导体产业及坪山区着力打造的“中国芯”产业集群提供坚实的上游技术支撑。
在服务产业的同时，中心也深度融入深圳技术大学的应用研究型人才培养体系。中心依托学校集成电路与光电芯片学院，组建了一支由50多名高层次科研人员构成的核心技术团队，构建了从基础研究、工艺开发到中试孵化的完整创新链条。通过将真实的产业级研发环境与教学过程相结合，中心为学生提供了宝贵的实践平台，旨在培养能够直接对接产业需求、解决复杂工程问题的高素质专业人才，从而筑牢学校应用型人才培养的根基，为大湾区半导体产业的可持续发展输送新生力量。
未来，深圳技术大学半导体微纳加工中心与测试平台将以专业化、高水平的半导体加工与测试服务为核心，持续提升平台运营与服务能力。它不仅将成为大湾区化合物半导体光电产业重要的技术支撑与协同创新基地，也将在提升区域原始创新能力、促进产学研深度融合、保障产业链供应链安全稳定方面发挥不可替代的作用。
